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1、测试功能
本设备含有2种测试功能,可以同时放置18个样品,自动测试。
2、测试接触电阻
用于测试接触电阻,薄层电阻,接触电阻率等项目,
3、测试线电阻
用于测试栅线的线电阻,可以测试宽5-10mm的切割电池片。
如客户需要测试宽10mm 以上的线电阻,需要额外定制专用平台。
测试原理图(TLM)在太阳能电池电极优化中,接触电阻是需要考量的一个重要方面。接触电阻的大小不仅与接触的图形有关,还与扩散工艺及烧结工艺有关。测量接触电阻率可以反映扩散、电极制作、烧结等工艺中存在的问题。 该检测设备共计2种测试功能:接触电阻率测试和线电阻测试,可切换使用。测试原理如下: 测量电阻由三个部分组成: 1)两侧的探针与电极的金属接触电阻Rm(考虑到<<Rc,可忽略); 2)电极与所研究材料间的接触电阻Rc; 3)半导体材料的方阻Rsh。 通过改变电极间距d,可以得到RTLM与d的关系曲线,从而提取出界面接触电阻Rc和所研 究材料的方阻Rsh。 |
探针头简介图4 图4所示为接触电阻探头,两相邻探针轴间距可在≥0.5mm 且 ≤3mm 的范围选择,可根据用户要求定制不同间距规格。 图5 图5所示是线电阻探头,相邻探针组,外轴间距为10mm,可测的栅线长度为10-50mm,可根据用户要求定制不同间距规格。 |
测试分布图薄层电阻分布图--sheet resistance(Q/sq) 图7 上图是测试7个样品的薄层电阻分布图。每个片子各测试5块区域,以红色的深浅来表示薄层电阻的大小,直观表现出电阻大小。 接触电阻分布图-contact resistance(Q) 图8 上图是测试7个测试片子的接触电阻分布图。每个片子各测试5块区域,以红色的深浅来表示薄层电阻的大小,直观表现出电阻大小。 接触电阻率分布图-p c(mΩ*cm2) 图9 上图是测试7个测试片子的电阻率分布图。每个片子各测试5块区域,以红色的深浅来表示薄层电阻的大小,直观表现出电阻大小。 线电阻测试界面图-line resistance(Q/cm) 图10 上图是正在测试线电阻过程中的界面图。界面右边显示在一条片子中各条线的线电阻的分布。 |
TLM接触电阻技术指标 | |
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型号 | CHT-6070TLM |
适用电池尺寸 | 230mm及以下尺寸的切割电池片 |
可测样品宽度 | 5~10mm |
探针头 | 有以下方案可选择: 固定探针头:按客户的尺寸加工,加工范围0.5-3mm; 可调探针头:目前有4种规格, (1)0.9-1.0mm(2)1.0-1.2mm(2)1.2-1.8mm(3)1.8-2.5mm |
接触电阻测量范围 | 0~120Ω |
接触电阻测量重复性 | 优于5%或0 . 5m Q*cm^2 |
线电阻技术指标(选配) | |
适用电池尺寸 | 230mm及以下尺寸的切割电池片 |
可测的样品宽度 | 5-10mm,其他规格需特殊定制 |
线电阻测量范围 | 0~40 Q/cm |
线电阻测量重复性 | 优于5%或0 . 20/cm |
扩散方阻技术指标(选配) | |
适用电池尺寸 | 230mm及以下尺寸的电池片 |
测量范围 | 5×10-4~2×10⁵Q/□ |
方阻测试重复性 | 优 于 3 % |
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