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光伏测试产品/Photovoltaic Test Products

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严质台阶仪

产品应用

钙钛矿太阳能电池的性能受薄膜质量和厚度的影响。高质量薄膜提升了电子和空穴传输效率,减少能量损耗并延长载流子寿命。优化制备工艺,如使用低毒性溶剂和封闭蒸汽退火,可提高薄膜的结晶性和均匀性,提升光电转换效率(PCE)。

严质CHT系列台阶仪是严质自主研发的全国首套国产化台阶仪,其主要用于台阶高度、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。具有高精度、高分辨率特点,搭配一体花岗岩结构,保证稳定可靠的重复性测量。测量端采用金刚石探针,提供多种可选的尖端曲率半径,探针施加力通过专用软件自动控制。标配一个彩色摄像头对样品及针尖同时成像,可无畸变地观察样品区,快速定位特征区域。

严质CHT系列台阶仪采用大行程压电位移台控制探针接触样品表面,反馈环路控制压电微动台保证压力值恒定;碰到凸阶时,压电微动台抬起探针,碰到凹坑时,探针下探,压电微动台的位移量即是台阶高度。垂直分辨率为0.1nm,重复性偏差小于0.5nm。

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  • 产品特点
  • 技术参数

稳定的重复性

花岗岩龙门架结构搭配高精度微力传感器与微动扫描器,提供高的测量精度和重复性:1um标样30次扫描偏差极值<10nm,准确度小于0.5nm。


金刚石探针

采用金刚石探针,提供不同规格,满足客户对台阶仪的不同需求。


无畸变观察样品区

系统配备摄像头,实时监测探针扫描状态及可观察扫描区域,无畸变观察样品区。


样品空间姿态调节功能

配备了精密XY位移台、360°旋转平台,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。


半导体应用

1)沉积薄膜的台阶高度

2)抗蚀剂(软膜材料)的台阶高度

3)蚀刻速率测定

4)化学机械抛光(腐蚀、凹陷、弯曲)


盖钛矿台阶高度测量


盖钛矿台阶高度测量


半导体

玻璃基板及显示器应用

1)AMOLED

2)液晶屏研发的台阶步级高度测量

3)触控面板薄膜厚度测量

4)太阳能涂层薄膜测量

柔性电子器件薄膜应用

1)有机光电探测器

2)印于薄膜和玻璃上的有机薄膜

3)触摸屏铜迹线


型号

CHT-TJ02B

样品

单片(厚度≤10mm) 可定制

晶圆尺寸和行程

6寸 ≤150mm

8寸≤200mm

12寸≤300mm

重复性测量偏差

≤0.5nm(1σ 1um标准块重复扫描30次)

最大测量范围

80um

垂直分辨率

0.05nm满量程

探针加力范围

0.5~50mg

力控制

恒定

采样速度

200Hz

最大扫描长度

55mm

扫描方向

左右双向

扫描分辨率

10nm

扫描最大采集点数

200万点

扫描速度

5um/s -50um/s

扫描平整度

20nm/2mm

样品台运动方式

可实现水平(X/Y),旋转(RZ)手动控制

XY样品台重复性


±5um

Z样品台行程

10mm

样品旋转台

士360°

士360°

标准探针

曲率半径≥2um角度60°(标配)

亚微米探针

曲率半径≤1um角度60°

软件功能

台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量

探针传感器

超低惯量,LVDC传感器

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